荆州多家企业接连攻克半导体产业“卡脖子”技术

荆州总督

靠科技创新后发赶超 接连攻克半导体产业“卡脖子”技术

老厂区占地39亩，加上即将投产的新厂区，也不过120余亩。这里是太和气体（荆州）有限公司，面积不大，在电子特气行业却无人不知。

电子特气被称为电子工业的“血液”，是生产半导体芯片不可或缺的关键材料，光刻、刻蚀、沉积、掺杂等，几乎每个工艺环节都离不开它。

过去，我国电子特气严重依赖进口，国产化率低，如何破局?

自2010年成立以来，太和气体专注于高纯半导体特气领域，在国内率先自主研发生产高纯氯、氯化氢、乙硼烷、溴化氢等拳头产品，生产工艺技术和品质均达到国际先进水平，多项产品填补国内空白。

“2018年以前，公司一直处于研发阶段，投入较大，销售规模相对较小。”太和气体公司董秘刘德军介绍，2019年以来，公司的年销售额持续增长。

2023年，受全球电子消费品市场需求下降等不利因素影响，国内电子特气市场需求下降约20%，太和气体销售依然保持了可喜增长势头。新厂区计划在今年底建成，新厂全部达产后，公司高纯电子特气将达到20多个品种。

15年深耕电子特气，太和气体已拥有25项电子特气核心技术专利，入选国家级专精特新“小巨人”企业，成为国内高纯氯、氯化氢和乙硼烷电子特气品种名列前茅的制造商，产品进入台积电、三星电子、京东方、中芯国际等国际知名半导体供应链。

高纯度、耐高温、无污染的石英玻璃材料及制品，也是半导体生产中必不可少的辅材。湖北菲利华石英玻璃股份有限公司数十年如一日，专注研制石英玻璃产品，不断攻克技术瓶颈，成为国内首家正式通过国际三大半导体原产设备商认证的石英材料企业。

目前，菲利华主要生产薄膜晶体管液晶显示器中印刷线路板的光掩膜基板，以及半导体芯片制程中的石英蚀刻材料。去年，该公司成功研发出超低膨胀石英玻璃材料，打破国外垄断，实现了国内该材料领域零的突破。

随着先导、联仕、瑞华等半导体项目在荆州加速落地、投产，在半导体材料领域汇聚多项尖端技术，成为荆州半导体产业崛起的重要支撑。